ASML、中芯国际双双辟谣 EUV光刻设备并没有断供

来源:http://www.chinese-glasses.com 作者:编程 人气:150 发布时间:2020-02-25
摘要:据了解,中芯国际目前量产的最先进制程为14nm,12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。 目前台积电台积电将包揽 ASML 今年的 30 台 EUV 光刻机中的 18台,不过量产的

据了解,中芯国际目前量产的最先进制程为14nm,12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。

目前台积电台积电将包揽 ASML 今年的 30 台 EUV 光刻机中的 18 台,不过量产的 7nm 制程仍是基于 DUV(深紫外)工艺,今年 3 月份才启动 7nm EUV 的量产。而三星在去年就小规模投产了 7nm EUV。

ASML表示,对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。

ASML 相关负责人强调:“实际上在我们第三季度财报中,就已经将相关情况进行说明,根据瓦圣纳协议(Wassenaar Arrangement),ASML 出口 EUV 到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML 已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。因此,关于”ASML 决定延迟 / 终止出货“的说法是错误的,ASML 系遵循法规行事,并一视同仁地服务我们全球客户。”

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与非网 11 月 8 日讯,去年 4 月,中芯国际向荷兰 ASML 公司订购了一台 EUV 光刻机,用于研究 7nm 及以下的先进工艺。花费超过 1.2 亿欧元(约 10 亿人民币),预计今年底交货,2020 年正式安装。来自日经新闻消息称,因为受到美国政府关切,ASML 将延后对中国晶圆代工企业中芯国际出货。

11月7日消息,针对荷兰ASML公司延迟出货EUV光刻机的报道,中芯国际刚刚也作出了回应,称“极紫外光还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”

ASML 是全球 EUV 光刻机的唯一供应商,并且是全球市值最高的芯片设备制造商。ASML 年收入约在 83 亿欧元 (约 92 亿美元) 左右。其中 16%来自英特尔和美光等美国公司,19%来自中国。据了解,台积电、三星已于 2019 年导入量产最先端产品的 EUV 设备,且苹果预计 2020 年下半开卖的新型 iPhone 预估就会搭载采用该技术的 CPU。

早些时候ASML也澄清称,关于日经新闻有关中芯国际相关报导有误,“延迟出货”仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。

中芯国际是我国最大的半导体制造公司,今年 14nm 制程已经实现量产,追平台联电 14nm 制程工艺,如果未能准时拿到最先进光刻机设备,或影响赶超台积电的日程表。

对于何时能拿到许可证,ASML 相关负责人表示,目前处于正常的流程状态中,尚未掌握确切的时间。

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